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  • 真空泵开环控制技术及应用研究
    一、引言真空泵是一种重要的工业设备,广泛应用于半导体、光学、化工、制药等领域。真空泵的性能直接影响着整个工艺系统的稳定性和效率。为了保证真空泵的正常运行,需要对其进行精细的控制。本文将介绍真空泵开环控制技术及其应用研究。二、真空泵的工作原理...
    [ 2024-03-26 16:51:55 ]